Национальная академия наук Беларуси

 Лабунов В.А.

ЛАБУНОВ Владимир Архипович

Владимир Архипович Лабунов (р. 16.03.1939, г. Орша, Витебской обл.), ученый в области микроэлектроники. Академик Национальной академии наук Беларуси (1986; чл.-корр. с 1980), доктор технических наук (1975), профессор (1977). Заслуженный изобретатель БССР (1978).

Исследовал физико-химические процессы, связанные с взаимодействием электролитов, низкотемпературной плазмы, ионных пучков и оптического излучения с поверхностью твердого тела; построил физические модели базовых технологических, электрохимических, ионных и фотонных процессов создания полупроводниковых и гибридных интегральных микросхем и на их основе разработал систему сквозного автоматизированного проектирования. Разработал высокоэффективные базовые электрохимические процессы производства элементов полупроводниковых и гибридных интегральных микросхем; ионно-плазменные, ионно-лучевые, импульсные ламповые, лазерные фотохимические технологические процессы индивидуальной обработки полупроводниковых пластин, а также оборудование с микропроцессорным управлением для осуществления этих процессов.

Государственная премия Республики Беларусь 1992 г. за создание и промышленную реализацию высокоэффективной системной технологии массового производства сверхбольших интегральных схем. Первая премия Президиума АН СССР 1978 г. за лучшие фундаментальные разработки в области микроэлектроники.

Автор более 200 научных работ, в т.ч. монографии и 14 брошюр, 460 изобретений.

Награжден орденами Октябрьской Революции (1986) и Трудового Красного Знамени (1981), медалью.

Основные труды:

  1. Окисление металлов и полупроводников в низкотемпературной кислородной плазме (совм. с В.П. Пархутиком) // Обзоры по электронной технике. Серия Микроэлектроника. 1978. Вып. 1.
  2. Современные системы ионной имплантации (совм. с Н.И. Даниловичем) // Зарубежная электронная техника. 1982. № 3.
  3. Формирование силицидов импульсной термообработкой пленочных структур (в соавт.) // Там же. 1985. № 8.