Национальная академия наук Беларуси

ПИЛИПЕНКО Владимир Александрович

Владимир Александрович Пилипенко (р. 18.07.1949, г. Мозырь, Гомельской обл.), физик. Член-корреспондент Национальной академии наук Беларуси (2000). Доктор технических наук (1991), профессор (1995).

Выполнил исследования в области управляемой модификации свойств полупроводников, тонких пленок металлов и диэлектриков. Обнаружил эффекты, приводящие к ускорению процессов модификации свойств различных материалов под воздействием световых импульсов и предложил механизмы их возникновения: удвоение коэффициента диффузии примесей и отсутствие эффекта оттеснения базы эмиттером при твердофазной рекристаллизации ионнолегированных слоев кремния; формирование равновесной, термостабильной структуры легированных пленок алюминия и их контакта к кремнию; одностадийное формирование дисилицида титана. Разработал методы расчета температурных режимов и определил оптимальные условия, обеспечивающие минимизацию таких напряжений. Осуществил моделирование процессов формирования различных тонкопленочных систем с применением быстрой термической обработки: геттерирования, оплавления легкоплавких стекол, рекристаллизации пленок алюминия, диффузионного синтеза силицидов различных металлов и др. Разработал технологию создания интегральных микросхем на базе быстрых термических обработок.

Автор около 260 научных работ, в том числе 7 монографий, 40 изобретений.

Основные труды:

  1. Физические основы быстрой термообработки. Создание многоуровневой металлизации. Мн.: БГУ, 2000 (в соавт.).
  2. Физические основы быстрой термообработки. Геттерирование, отжиг ионолегированных слоев, БТО в технологии СБИС. Мн.: БГУ, 2001 (в соавт.).
  3. Физические основы быстрой термообработки. Отжиг поликристаллического кремния, диэлектрических пленок, очистка поверхности и эпитаксия. Мн., 2002 (в соавт.).
  4. Быстрые термообработки в технологии. СБИС. Мн.: Изд. центр БГУ, 2004.