Bel  ·  Eng  ·  Rus   |    Только текст  |   НАНБ в Facebook НАНБ в Vkontakte НАНБ в Telegram НАНБ в Twitter НАНБ в Instagram НАНБ в Youtube НАНБ в LinkedIn НАНБ в SlideShare rss-лента новостей Написать письмо 
   
НАН Беларуси on-line



Год науки - 2017
Официальный интернет-портал Президента Республики Беларусь
Официальный интернет-сайт Совета Министров Республики Беларусь
Перечень административных процедур, выполняемых НАН Беларуси и ее организациями
Национальный правовой Интернет-портал Республики Беларусь
Академия управления при Президенте Республики Беларусь
Интернет-портал Молодёжь Беларуси
Газета Навука
Республиканский Центр Трансфера Технологий

Члены-корреспонденты

Главная страница / Члены академии / Члены-корреспонденты

Член-корреспондент ПИЛИПЕНКО Владимир Александрович

Владимир Александрович Пилипенко (р. 18.07.1949, г. Мозырь Гомельской обл.), физик. Член-корреспондент Национальной академии наук Беларуси (2000), доктор технических наук (1991), профессор (1995).

Окончил Белгосуниверситет (1971). С 1971 г. инженер, начальник отдела научно-исследовательского конструкторско-технологического унитарного предприятия "Белмикросистемы" НПО "Интеграл". С 1996 г. заместитель директора Государственного центра "Белмикроанализ" НПО "Интеграл".

Выполнил исследования в области управляемой модификации свойств полупроводников, тонких пленок металлов и диэлектриков. Обнаружил эффекты, приводящие к ускорению процессов модификации свойств различных материалов под воздействием световых импульсов и предложил механизмы их возникновения: удвоение коэффициента диффузии примесей и отсутствие эффекта оттеснения базы эмиттером при твердофазной рекристаллизации ионнолегированных слоев кремния; формирование равновесной, термостабильной структуры легированных пленок алюминия и их контакта к кремнию; одностадийное формирование дисилицида титана. Разработал методы расчета температурных режимов и определил оптимальные условия, обеспечивающие минимизацию таких напряжений. Осуществил моделирование процессов формирования различных тонкопленочных систем с применением быстрой термической обработки: геттерирования, оплавления легкоплавких стекол, рекристаллизации пленок алюминия, диффузионного синтеза силицидов различных металлов и др. Разработал технологию создания интегральных микросхем на базе быстрых термических обработок.

Автор около 260 научных работ, в том числе 7 монографий, 40 изобретений.

Основные труды:
1. Физические основы быстрой термообработки. Создание многоуровневой металлизации. Мн.: БГУ, 2000 (в соавт.).
2. Физические основы быстрой термообработки. Геттерирование, отжиг ионолегированных слоев, БТО в технологии СБИС. Мн.: БГУ, 2001 (в соавт.).
3. Физические основы быстрой термообработки. Отжиг поликристаллического кремния, диэлектрических пленок, очистка поверхности и эпитаксия. Мн., 2002 (в соавт.).
4. Быстрые термообработки в технологии. СБИС. Мн.: Изд. центр БГУ, 2004.

Главная страница / Члены академии / Члены-корреспонденты / К началу страницы