Владимир Александрович Пилипенко (р. 18.07.1949, г. Мозырь Гомельской обл.), физик. Член-корреспондент Национальной академии наук Беларуси (2000), доктор технических наук (1991), профессор (1995).
Окончил Белгосуниверситет (1971). С 1971 г. инженер, начальник отдела научно-исследовательского конструкторско-технологического унитарного предприятия "Белмикросистемы" НПО "Интеграл". С 1996 г. заместитель директора Государственного центра "Белмикроанализ".
Выполнил исследования в области управляемой модификации свойств полупроводников, тонких пленок металлов и диэлектриков. Обнаружил эффекты, приводящие к ускорению процессов модификации свойств различных материалов под воздействием световых импульсов и предложил механизмы их возникновения: удвоение коэффициента диффузии примесей и отсутствие эффекта оттеснения базы эмиттером при твердофазной рекристаллизации ионнолегированных слоев кремния; формирование равновесной, термостабильной структуры легированных пленок алюминия и их контакта к кремнию; одностадийное формирование дисилицида титана. Разработал методы расчета температурных режимов и определил оптимальные условия, обеспечивающие минимизацию таких напряжений. Осуществил моделирование процессов формирования различных тонкопленочных систем с применением быстрой термической обработки: геттерирования, оплавления легкоплавких стекол, рекристаллизации пленок алюминия, диффузионного синтеза силицидов различных металлов и др. Разработал технологию создания интегральных микросхем на базе быстрых термических обработок.
Автор более 190 научных работ, в том числе 5 монографий, 40 изобретений.
Основные труды:
1. Физические основы быстрой термообработки. Создание многоуровневой металлизации. Мн., 2000.
2. Физические основы быстрой термообработки. Геттерирование, отжиг ионолегированных слоев, БТО в технологии
СБИС. Мн., 2001.
3. Физические основы быстрой термообработки. Отжиг поликристаллического кремния, диэлектрических пленок, очистка поверхности и эпитаксия. Мн., 2002.
/ Члены академии / Члены-корреспонденты / К началу страницы
