Евгений Евгеньевич Онегин (17.07.1932, г. Кострома, Россия - 22.11.2002), ученый в области электронного машиностроения. Член-корреспондент Национальной академии наук Беларуси (1986), доктор технических наук (1982), профессор (1989).
Окончил Белорусский политехнический институт (1955). С 1956 г. ведущий конструктор Минского завода автоматических линий, с 1963 г. ведущий конструктор, начальник отдела, главный инженер, заместитель начальника Конструкторского бюро точного электронного машиностроения (КБТЭМ) Министерства электронной промышленности СССР (Минск). С 1971 г. заместитель генерального директора по научной работе научно-производственного объединения "Планар", главный инженер КБТЭМ, с 1974 г. генеральный директор НПО "Планар", начальник КБТЭМ.
Исследования в области теории проектирования прецизионного технологического оборудования для производства больших и сверхбольших интегральных схем, принципов его построения и технологии изготовления. Разработал новые физические и технологические принципы построения оптико-механического и сборочного оборудования в производстве изделий микроэлектроники и средства для их реализации.
Государственная премия СССР 1973 г. за разработку и внедрение в массовое производство высокочастотных транзисторов серии КТ-315.
Автор около 100 научных работ, в т.ч. 2 монографий, 46 изобретений.
Награжден орденами Ленина (1981), Октябрьской Революции (1986), Трудового Красного Знамени (1976), медалью.
Основные труды:
1. Робототехника в технологическом оборудовании для микроэлектроники // Электронная промышленность. 1981. Вып.10.
2. Обеспечение точности и производительности прецизиционного оборудования // Там же. 1983, №1.
3. Точное машиностроение для микроэлектроники. Мн., 1986.
4. Автоматическая сборка интегральных схем. Мн., 1990.
/ Члены академии / Памяти ученого / К началу страницы
