Национальная академия наук Беларуси

ОНЕГИН Евгений Евгеньевич

Евгений Евгеньевич Онегин (17.07.1932, г. Кострома, Россия – 22.11.2002), ученый в области электронного машиностроения. Член-корреспондент Национальной академии наук Беларуси (1986), доктор технических наук (1982), профессор (1989).

Исследования в области теории проектирования прецизионного технологического оборудования для производства больших и сверхбольших интегральных схем, принципов его построения и технологии изготовления. Разработал новые физические и технологические принципы построения оптико-механического и сборочного оборудования в производстве изделий микроэлектроники и средства для их реализации.

Автор около 100 научных работ, в т.ч. 2 монографий, 46 изобретений.

Государственная премия СССР 1973 г. за разработку и внедрение в массовое производство высокочастотных транзисторов серии КТ-315.

Награжден орденами Ленина (1981), Октябрьской Революции (1986), Трудового Красного Знамени (1976), медалью.

Основные труды:

  1. Робототехника в технологическом оборудовании для микроэлектроники // Электронная промышленность. 1981. Вып.10.
  2. Обеспечение точности и производительности прецизиционного оборудования // Там же. 1983, №1.
  3. Точное машиностроение для микроэлектроники. Мн.: Радио и связь, 1986.
  4. Автоматическая сборка интегральных схем. Мн.: Вышэйшая школа, 1990 (совм. с В.А. Зеньковичем, Л.Г. Битно).