Национальная академия наук Беларуси

ТОЧИЦКИЙ Эдуард Иванович

Эдуард Иванович Точицкий (19.07.1935, Минск – 28.11.2007), ученый в области материаловедения в машиностроении и в микроэлектронике, физике и технологии тонких пленок и покрытий. Член-корреспондент Национальной академии наук Беларуси (1994). Доктор технических наук (1974), профессор (1981).

Научные работы посвящены исследованиям реальной структуры тонких пленок, явлений эпитаксии, кинетики и термодинамики фазообразования при вакуумной конденсации тонких пленок и покрытий. Создал теорию кинетики зарождения и роста покрытий в условиях как стационарного, так и импульсного осаждения, установил влияние размерных эффектов на структурные и фазовые превращения в тонкопленочных системах, зависимость физических свойств и кристаллографической структуры пленок от условий кристаллизации и последующей термообработки. Разработал научные основы нового направления в материаловедении для микроэлектроники: формирование в вакууме элементов сверхбольших интегральных схем (СБИС), защитных и пассивирующих покрытий из импульсных потоков ускоренной плазмы; сформулировал принципы реализации метастабильных состояний в пленках и тонкопленочных системах, экспериментально получил алмазные и алмазоподобные углеродные пленки при низких температурах на подложках из различных материалов. Создал концепцию "сухой" ультрафиолетовой лазерной проекционной микролитографии, на ее основе разработал новую прогрессивную технологию изготовления СБИС в едином технологическом цикле. Известен как ученый в области ключевых процессов наукоемкого, нематериалоемкого современного машиностроения, повышения долговечности и надежности машин и механизмов методом нанесения упрочняющих, износостойких, теплозащитных и коррозионно-стойких покрытий на детали машин и механизмов. Разработал уникальную технологию и промышленное оборудование, создал ускорители импульсной катодно-дуговой эрозионной плазмы, позволяющие получать наноразмерные материалы и с высокой точностью наносить многослойные и многокомпонентные покрытия заданного состава и толщины, а также синтезировать ранее неизвестные материалы при программируемом смешивании в любых пропорциях и сочетаниях плазменных потоков веществ, которые в равновесных условиях взаимно не растворяются и не реагируют. В последние годы развивает в Беларуси новые научные направления: микромеханические системы и наноэлектронику.

Автор более 370 научных работ, в том числе 3 монографий, 70 изобретений и патентов.

Основные труды:

  1. Структура тонких металлических пленок. Мн., 1968 (с В.П.Северденко).
  2. Кристаллизация и термообработка тонких пленок. Мн., 1976.
  3. Use of low energy ion assistance for modification of diamond like carbon films conductivity (совм. с N.M. Checan, V.T. Svirin, I.V. Gasencova) // Vacuum. 2000. Vol.58, №1.