Нацыянальная акадэмія навук Беларусі

ЛАБУНОЎ Уладзімір Архіпавіч

ЛАБУНОЎ Уладзімір Архіпавіч

Уладзімір Архіпавіч Лабуноў (н. 16.03.1939, г. Орша, Віцебскай вобл.), вучоны ў галіне мікраэлектронікі. Акадэмік Нацыянальнай акадэміі навук Беларусі (1986; чл.-кар. з 1980), доктар тэхнічных навук (1975), прафесар (1977). Заслужаны вынаходнік БССР (1978).

Даследаваў фізіка-хімічныя працэсы, звязаныя з узаемадзеяннем электралітаў, нізкатэмпературнай плазмы, іённых пучкоў і аптычнага выпраменьвання з паверхняй цвёрдага цела; пабудаваў фізічныя мадэлі базавых тэхналагічных, электрахімічных, іённых і фатонных працэсаў стварэння паўправадніковых і гібрыдных інтэгральных мікрасхем і на іх аснове распрацаваў сістэму скразнога аўтаматызаванага праектавання. Распрацаваў высокаэфектыўныя базавыя электрахімічныя працэсы вытворчасці элементаў паўправадніковых і гібрыдных інтэгральных мікрасхем; іённа-плазменныя, іённа-прамянёвыя, імпульсныя лямпавыя, лазерныя фотахімічныя тэхналагічныя працэсы індывідуальнай апрацоўкі паўправадніковых пласцін, а таксама абсталяванне з мікрапрацэсарным кіраваннем для ажыццяўлення гэтых працэсаў.

Дзяржаўная прэмія Рэспублікі Беларусь 1992 г. за стварэнне і прамысловую рэалізацыю высокаэфектыўнай сістэмнай тэхналогіі масавай вытворчасці звышвялікіх інтэгральных схем. Першая прэмія Прэзідыума АН СССР 1978 г. за лепшыя фундаментальныя распрацоўкі ў галіне мікраэлектронікі.

Аўтар больш за 200 навуковых прац, у тым ліку манаграфіі і 14 брашур, 460 вынаходстваў.

Узнагароджаны ордэнамі Кастрычніцкай рэвалюцыі (1986) і Працоўнага Чырвонага Сцяга (1981), медалём.

Асноўныя працы:

  1. Окисление металлов и полупроводников в низкотемпературной кислородной плазме (совм. с В.П. Пархутиком) // Обзоры по электронной технике. Серия Микроэлектроника. 1978. Вып. 1.
  2. Современные системы ионной имплантации (совм. с Н.И. Даниловичем) // Зарубежная электронная техника. 1982. № 3.
  3. Формирование силицидов импульсной термообработкой пленочных структур (в соавт.) // Там же. 1985. № 8.