Нацыянальная акадэмія навук Беларусі

ТАЧЫЦКІ Эдуард Іванавіч

Эдуард Іванавіч Тачыцкі (19.07.1935, Мінск – 28.11.2007), вучоны ў галіне матэрыялазнаўства ў машынабудаванні і ў мікраэлектроніцы, фізіцы і тэхналогіі тонкіх плёнак і пакрыццяў. Член-карэспандэнт Нацыянальнай акадэміі навук Беларусі (1994). Доктар тэхнічных навук (1974), прафесар (1981).

Навуковыя працы прысвечаны даследаваннях рэальнай структуры тонкіх плёнак, з'яў эпітаксіі, кінэтыкі і тэрмадынамікі фазаутварэння пры вакуумнай кандэнсацыі тонкіх плёнак і пакрыццяў. Стварыў тэорыю кінэтыкі зараджэння і росту пакрыццяў ва ўмовах як стацыянарнага, так і імпульснай аблогі, усталяваў уплыў размерных эфектаў на структурныя і фазавыя ператварэння ў тонкаплёнкавых сістэмах, залежнасць фізічных уласцівасцяў і крышталяграфічны структуры плёнак ад умоў крышталізацыі і наступнай тэрмаапрацоўкі. Распрацаваў навуковыя асновы новага напрамку ў матэрыялазнаўстве для мікраэлектронікі: фарміраванне ў вакууме элементаў звышвялікіх інтэгральных схем( ЗБІС), ахоўных і пасівіруючых пакрыццяў з імпульсных патокаў паскоранай плазмы; сфармуляваў прынцыпы рэалізацыі метастабільных станаў у плёнках і тонкаплёнкавых сістэмах, эксперыментальна атрымаў алмазныя і алмазападобныя вугляродныя плёнкі пры нізкіх тэмпературах на падкладках з розных матэрыялаў. Стварыў канцэпцыю "сухой" ўльтрафіялетавай лазернай праекцыйнай мікралітаграфіі, на яе аснове распрацаваў новую прагрэсіўную тэхналогію вырабу ЗБІС у адзіным тэхналагічным цыкле. Вядомы як вучоны ў галіне ключавых працэсаў навукаёмістага, нематэрыялаёмкага сучаснага машынабудавання, павышэння даўгавечнасці і надзейнасці машын і механізмаў метадам нанясення умацоўваючых, зносастойкіх, цеплаахоўных і каразійна-стойкіх пакрыццяў на дэталі машын і механізмаў. Распрацаваў унікальную тэхналогію і прамысловае абсталяванне, стварыў паскаральнікі імпульснай катодна-дугавой эразійнай плазмы, якія дазваляюць атрымліваць нанаразмерные матэрыялы і з высокай дакладнасцю наносіць шматслойныя і шматкампанентныя пакрыцця зададзенага складу і таўшчыні, а таксама сінтэзаваць раней невядомыя матэрыялы пры праграмуемым змешванні ў любых прапорцыях і спалучэннях плазменных патокаў рэчываў, якія ў раўнаважкіх умовах ўзаемна не раствараюцца і не рэагуюць. У апошнія гады развівае ў Беларусі новыя навуковыя напрамкі: мікрамеханічныя сістэмы і нанаэлектроніку.

Аўтар больш за 370 навуковых прац, у тым ліку 3 манаграфій, 70 вынаходстваў і патэнтаў.

Асноўныя працы:

  1. Структура тонких металлических пленок. Мн., 1968 (с В.П.Северденко).
  2. Кристаллизация и термообработка тонких пленок. Мн., 1976.
  3. Use of low energy ion assistance for modification of diamond like carbon films conductivity (совм. с N.M. Checan, V.T. Svirin, I.V. Gasencova) // Vacuum. 2000. Vol.58, №1.